1 简介

真空泵(beng)(beng)是一种旋转式变(bian)容真空泵(beng)(beng)须有前级(ji)泵(beng)(beng)配合方(fang)可使用在较(jiao)宽的压(ya)力范围内(nei)有较(jiao)大的抽速(su)对被抽除气体(ti)中含有灰(hui)尘和水蒸(zheng)汽不敏感广泛用于冶金、化工、食(shi)品、电子镀(du)膜等行业。[1]

2 特点

(1)在较宽(kuan)的(de)压力范围内有较大(da)的(de)抽速；

(2)转(zhuan)子(zi)具有(you)(you)良好的(de)几(ji)何(he)对称性，故振动(dong)小(xiao)，运转(zhuan)平(ping)稳。转(zhuan)子(zi)间(jian)及转(zhuan)子(zi)和壳体间(jian)均有(you)(you)间(jian)隙，不用(yong)润(run)滑，摩擦损失小(xiao)，可大大降低驱动(dong)功率(lv)，从而可实现较高转(zhuan)速；

(3)泵(beng)腔内无(wu)需用油密(mi)封(feng)和润滑，可(ke)减少油蒸气对真(zhen)空系(xi)统的污染(ran)；

(4)泵腔内(nei)无压缩(suo)，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰(hui)尘和(he)水蒸(zheng)汽不敏感；

(5)压缩比较低，对氢(qing)气抽气效果差；

(6)转子表面为形状较为复杂的曲(qu)线柱面，加工和检查比较困难。

3 结构

（1） 泵总体结构型式

真空泵(beng)的(de)(de)泵(beng)体的(de)(de)布置结构(gou)决定了泵(beng)的(de)(de)总体结构(gou)。

立式(shi)结构的进(jin)、排气(qi)口水平设(she)置，装配和连接管(guan)路都比较(jiao)(jiao)方便。但(dan)泵的重心(xin)较(jiao)(jiao)高，在(zai)高速运(yun)转时稳定(ding)性差(cha)，故这种型式(shi)多用于(yu)小泵。

卧式泵的进气(qi)(qi)口(kou)在(zai)上，排(pai)气(qi)(qi)口(kou)在(zai)下。有时(shi)为了真空系统(tong)管道安装连接(jie)方(fang)便，可将排(pai)气(qi)(qi)口(kou)从(cong)水平方(fang)向接(jie)出，即进、排(pai)气(qi)(qi)方(fang)向是相(xiang)互垂直的。此(ci)时(shi)，排(pai)气(qi)(qi)口(kou)可以(yi)从(cong)左或(huo)右两个方(fang)向开(kai)口(kou)，除(chu)接(jie)排(pai)气(qi)(qi)管道一端外，另一端堵死或(huo)接(jie)旁通阀(fa)。这(zhei)种(zhong)泵结构重(zhong)心低(di)，高速运转(zhuan)时(shi)稳定性好。一般大(da)、中型泵多(duo)采用此(ci)种(zhong)结构。

泵(beng)的两(liang)个转子(zi)(zi)轴与水平(ping)面垂直(zhi)安(an)装(zhuang)(zhuang)。这种结构装(zhuang)(zhuang)配(pei)(pei)间隙容易控制，转子(zi)(zi)装(zhuang)(zhuang)配(pei)(pei)方便，泵(beng)占地面积小。但泵(beng)重心较高且齿(chi)轮(lun)拆装(zhuang)(zhuang)不便，润滑(hua)机构也相对复杂。

（2） 泵的传动(dong)方式

真空泵的(de)(de)两(liang)个(ge)转(zhuan)(zhuan)子是通(tong)过一(yi)对(dui)高精度齿(chi)轮(lun)(lun)来实现其相对(dui)同步运转(zhuan)(zhuan)的(de)(de)。主动(dong)(dong)轴(zhou)通(tong)过联轴(zhou)器与电(dian)机联接。在传动(dong)(dong)结(jie)构(gou)布(bu)置上主要有(you)以下两(liang)种：其一(yi)是电(dian)动(dong)(dong)机与齿(chi)轮(lun)(lun)放(fang)在转(zhuan)(zhuan)子的(de)(de)同一(yi)侧(ce)如图。从动(dong)(dong)转(zhuan)(zhuan)子由电(dian)动(dong)(dong)机端齿(chi)轮(lun)(lun)直接传过去(qu)带动(dong)(dong)，这样主动(dong)(dong)转(zhuan)(zhuan)子轴(zhou)的(de)(de)扭转(zhuan)(zhuan)变(bian)形小，则两(liang)个(ge)转(zhuan)(zhuan)子之间(jian)(jian)的(de)(de)间(jian)(jian)隙不会因主动(dong)(dong)轴(zhou)的(de)(de)扭转(zhuan)(zhuan)变(bian)形大而(er)改(gai)变(bian)，故使转(zhuan)(zhuan)子之间(jian)(jian)的(de)(de)间(jian)(jian)隙在运转(zhuan)(zhuan)过程(cheng)中均匀。这种传动(dong)(dong)方式的(de)(de)最大缺(que)点是：a.主动(dong)(dong)轴(zhou)上有(you)三个(ge)轴(zhou)承，增(zeng)加了(le)泵的(de)(de)加工和(he)装(zhuang)配难度，齿(chi)轮(lun)(lun)的(de)(de)拆装(zhuang)及调整也不便(bian)；b.整体结(jie)构(gou)不匀称，泵的(de)(de)重(zhong)心偏向(xiang)电(dian)动(dong)(dong)机和(he)齿(chi)轮(lun)(lun)箱一(yi)侧(ce)。

    极限真空(kong)(kong)(kong)”是(shi)真空(kong)(kong)(kong)泵(beng)的(de)一(yi)个重要参(can)数(shu)，是(shi)反应(ying)泵(beng)抽(chou)气能力的(de)特性值(zhi)，是(shi)与真空(kong)(kong)(kong)泵(beng)相关的(de)一(yi)个数(shu)值(zhi)，不同(tong)的(de)真空(kong)(kong)(kong)泵(beng)可以有(you)不同(tong)的(de)“极限真空(kong)(kong)(kong)”度。而“理论真空(kong)(kong)(kong)”是(shi)理论研究时(shi)(shi)的(de)一(yi)个概念，是(shi)排(pai)除(chu)各种实际因素的(de)影响而提炼出的(de)一(yi)种最理想的(de)真空(kong)(kong)(kong)状态。真空(kong)(kong)(kong)容器经(jing)充分抽(chou)气后(hou)，稳定在某(mou)一(yi)真空(kong)(kong)(kong)度，此(ci)真空(kong)(kong)(kong)度称为极限真空(kong)(kong)(kong)。通常真空(kong)(kong)(kong)容器须(xu)经(jing)12小(xiao)(xiao)时(shi)(shi)炼气，再经(jing)12小(xiao)(xiao)时(shi)(shi)抽(chou)真空(kong)(kong)(kong)，最后(hou)一(yi)个小(xiao)(xiao)时(shi)(shi)每隔10分钟测(ce)量一(yi)次，取其10次的(de)平均(jun)值(zhi)为极限真空(kong)(kong)(kong)值(zhi)。